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共用設備

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卓上電子顕微鏡 [TM3000]

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番
TM3000
仕様
・反射電子観察
・最大倍率: 50000
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問い合わせ先部署
微細加工ユニット

FE-SEM [S-4800]

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
S-4800
仕様
・電子銃 ZrO/W 電界放射型
・加速電圧 0.1-30kV
・2次電子像分解能 1.0nm (ノーマル:15kV) 1.4nm (リターディング:1.0kV)
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問い合わせ先部署
微細加工ユニット

FE-SEM+EDX [S-4800]

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所
型番
S4800 / X-MAX 80
仕様
・加速電圧:0.5~30kV ,
・最大倍率:800k ,
・検出器:SE/BSE
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微細加工ユニット

FE-SEM+EDX [SU8000]

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番
SU8000 / Quantax FQ5060
仕様
・加速電圧: 0.5~30kV ,
・最大倍率: 800k ,
・検出器: SE/BSE
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微細加工ユニット

FE-SEM+EDX [SU8230]

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
SU8230
仕様
・冷陰極電界放出電子銃
・分解能:0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・付加機能:EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野)
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微細加工ユニット

走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]

メーカー名
オックスフォード・インストゥルメンツ Oxford Instruments
型番
Jupiter XR
仕様
・測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲:90μm
・ステージ可動範囲:200mm角
・試料サイズ:最大φ8インチ

【特徴】・高速スキャン ・広域アクセス ・多様なイメージングモード ・光熱励振タッピング
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微細加工ユニット

レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]

メーカー名
オリンパス
型番
LEXT OLS4000
仕様
・光源 405nm半導体レーザー
・分解能 XY:0.12um/Z:0.01um
・繰り返し性 XY:3σ=0.02um,/Z:1σ=0.012um(対物レンズ100倍時)
・観察モード レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察
・試料サイズ 100mm角以下
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微細加工ユニット

触針式プロファイラー [Dektak XT-A #1]

メーカー名
ブルカージャパン Bruker
型番
Dektak XT-A
仕様
【性能・仕様】
・分解能:1Å(6.5μmレンジ)
・走査距離:55mm
・触圧範囲:0.03-15mg
・試料サイズ:最大φ8インチ
・その他:自動ステージ、3Dマップ・粗さ・ストレス測定、等
【特徴】
・触針による表面形状計測
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微細加工ユニット

室温プローバー [MX-200/B]

メーカー名
ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー
型番
MX-200/B, B1500A
仕様
・プローブ 同軸プローブ
・マニピュレータ 4基
・I-V測定端子 4ユニット
・C-V測定端子 1ユニット
・試料サイズ 最大φ4インチ
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微細加工ユニット

ワイヤーボンダー [7476D #1]

メーカー名
West·Bond
型番
Model 7476D
仕様
・ボンディング方式:超音波ウエッジ・ウエッジ技法
・ワイヤ:0.007~0.002インチ径のアルミ又は金ワイヤワークピースの加熱が可能
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微細加工ユニット

"微細加工ユニット"で検索した結果  55件

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