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FIB加工装置(JEM-9320FIB)

メーカー名
日本電子(株)
型番
JEM-9320FIB
仕様
・加速電圧:30kV
・分解能:6nm
料金案内
NOF利用料金表
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ユニット

FIB/SEM精密微細加工装置(Helios 650)

メーカー名
日本エフイー・アイ株式会社 FEI Company Japan Ltd.
型番
Helios 650
仕様
1. SIM像分解能5nm(@30kV)、最大電流65nA
2. SEM像分解能1.5nm(@1kV)、最大電流26nA
3. E-beam: 350V~30 kV、I-Beam: : 500V~30 kV
4. 試料ステージ: XY150 mm、Z10 mm、T: -9°~+57°、R: 360°
5. Ptデポ
6. サンプルリフトアウトシステム

【特徴】1.集束イオンビーム(FIB)加工が可能 2.走査型電子顕微鏡(SEM)観察が可能 3.カラム内で加工薄片をリフトアウト(マイクロサンプリング)可能,【備考】機器利用は利用前に講習が必要
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NOF利用料金表
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ユニット

デュアルビーム加工観察装置(NB5000)

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
NB5000
仕様
・FIB :Acc.Volt. 1~40 kV, max.current 50 nA
・SEM :Acc. Volt. 0.5~30 kV, resolution 1 nm@15kV
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NOF利用料金表
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ユニット

電界放出形走査電子顕微鏡(SU8000)

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
SU8000
仕様
・冷陰極電界放出形電子銃
・対物レンズ:セミインレンズ型
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV)、 2.0 nm(加速電圧1 kV)、 リターディングモード:1.4 nm(照射電圧1 kV)
・リターディングモード 照射電圧:100 V~2.0 kV(加速電圧:500 V~3.0 kV)
・倍率:20~2千倍(低倍率モード)、80~80万倍(高倍率モード)
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・透過電子信号(BF、擬似DF)検出
・EDS付属(Bluker FlatQUAD)
 エネルギー分解能:129 eV以下
 検出可能元素:B~U
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表面・バルク分析ユニット

電界放出形走査電子顕微鏡(JSM-6500F)

メーカー名
日本電子(株)
型番
JSM-6500F
仕様
・電界放出形電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.5 nm(加速電圧15 kV)、 5.0 nm(加速電圧1 kV)
・倍率:10~50万倍
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属(JED-2300)
 エネルギー分解能:133 eV以下
 検出可能元素:B~U
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表面・バルク分析ユニット

走査電子顕微鏡(JSM-6510)

メーカー名
日本電子(株)
型番
JSM-6510
仕様
・Wフィラメント電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子分解能:3.0 nm(加速電圧30 kV)、 8.0 nm (加速電圧3 kV)、 15.0 nm(加速電圧1 kV)
・倍率:5~30万倍
・最大試料サイズ:φ150 mm
・操作ナビ画面にナビゲーション表示
・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能
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表面・バルク分析ユニット

ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡(JSM-7001F)

メーカー名
日本電子株式会社
型番
JSM7001F
仕様
・電界放出形電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.2 nm (加速電圧30 kV)、3.0 nm (加速電圧1 kV)
・倍率:10~1百万倍
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属(JED-2300)
 エネルギー分解能:133 eV以下
 検出可能元素:B~U
・EBSD:TSL OIM
 DigiView 4.0、 Analysis 8.3
・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+
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表面・バルク分析ユニット

卓上走査型電子顕微鏡(TM3000)

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
Miniscope TM3000
仕様
・倍率 15倍~30,000倍
・観察モード 通常モード、帯電軽減モード
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バイオ分析ユニット

卓上電子顕微鏡 [TM3000]

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番
TM3000
仕様
・反射電子観察
・最大倍率: 50000
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微細加工ユニット

卓上走査型電子顕微鏡(TM4000PlusII)

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
TM4000PlusII
仕様
・倍率:10倍 ~10万倍
・加速電圧 : 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
・画像信号 : 反射電子, 二次電子
・真空モード:導電体(反射電子のみ)、標準、帯電軽減
・EDX:あり
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問い合わせ先部署
バイオ分析ユニット

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