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FE-SEM [S-4800]
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- S-4800
- 仕様
- ・電子銃 ZrO/W 電界放射型
・加速電圧 0.1-30kV
・2次電子像分解能 1.0nm （ノーマル：15kV） 1.4nm （リターディング：1.0kV）
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [S-4800]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所
- 型番
- S4800 / X-MAX 80
- 仕様
- ・加速電圧:0.5～30kV ,
・最大倍率:800k ,
・検出器:SE/BSE
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [SU8000]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
- 型番
- SU8000 / Quantax FQ5060
- 仕様
- ・加速電圧: 0.5～5kV ,
・最大倍率:800k ,
・加速電圧:SE/BSE
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [SU8230]
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- SU8230
- 仕様
- ・冷陰極電界放出電子銃
・分解能：0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・付加機能：EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野)
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
200kV電界放出形透過電子顕微鏡（JEM-2100F1）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-2100F1
- 仕様
- ・TEM、STEM、EELS、EDS（点・線分析、元素マッピング)、NBD、CBED
・3次元像観察用試料ホルダー及び再構成ソフト
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
200kV透過電子顕微鏡（JEM-2100）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-2100
- 仕様
- ・加速電圧：200kV
・点分解能：0.25nm
・格子分解能：0.14nm
・LaB6電子銃を搭載
・TEMとEDS (点分析）
・CCDカメラ (Gatan Orius200D) 装備
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー
- メーカー名
- DENSsolutions
- 型番
- Lightning
- 仕様
- ・バイアス電圧：最高150V
・加熱：最高1300℃
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡（JEM-ARM200F-B）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-ARM200F-B
- 仕様
- 【遠隔利用可】
・照射レンズ系、結像レンズ系のそれぞれに収差補正機能を搭載
・超高分解能（0.08 nm）を実現
・冷陰極電子銃による低加速高分解能STEM
・加速電圧: 60, 80, 200 kV
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