精密コーティングシステム（TEM試料作製装置群）
| 装置ID | NF0217 |
|---|---|
| 装置名称 | 精密コーティングシステム（TEM試料作製装置群） |
| メーカー名 | Gatan |
| 型番 | Model 682 |
| 用途 | ・TEM試料作製 |
| 仕様 | ・加速電圧: 1～10 kV ・使用ガス: アルゴン ・蒸着方式: イオンビームスパッタ ・ターゲット: カーボン、クロム、プラチナ、金パラジウム |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 103号室 |
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