薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]
![薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]](data/facility_item/1637132287_16.jpg)
| 装置ID | NF0029 |
|---|---|
| 装置名称 | 薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] |
| メーカー名 | 東朋テクノロジー |
| 型番 | FLA-2000-A |
| 用途 | ・薄膜応力測定 |
| 仕様 | ・測定方式：レーザースキャン方式(670nm&750nm半導体レーザー） ・測定範囲：1～4000MPa ・測定再現性：1.3MPa（1σ） ・試料サイズ：φ3インチ, φ6インチ, φ8インチ ・その他：3Dマッピング機能 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟1F |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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