電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
![電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]](data/facility_item/D32_7_12連電子銃型蒸着装置.jpg)
| 装置ID | NF0013 |
|---|---|
| 装置名称 | 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] |
| メーカー名 | アールデック |
| 型番 | RDEB-1206K |
| 用途 | ・微細加工（成膜） ・リフトオフ向け金属薄膜形成 |
| 仕様 | ・蒸着方式 電子銃型×1式 ・到達真空度 1.0e-5 Pa ・TS間距離 500mm ・試料サイズ 最大φ6インチ ・その他 水冷式試料ステージ |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟1F |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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