原子層堆積装置 [AD-230LP]
![原子層堆積装置 [AD-230LP]](data/facility_item/1614127231_18.jpg)
| 装置ID | NF0017 |
|---|---|
| 装置名称 | 原子層堆積装置 [AD-230LP] |
| メーカー名 | サムコ株式会社 |
| 型番 | AD-230LP |
| 用途 | 絶縁膜・パッシベーション膜形成 |
| 仕様 | 成膜方式：Thermal ALD, Plasma ALD 原料：TMA, TDMAT, BDEAS, 他 酸化膜：H2O, O3, O2 窒化膜：N2, NH3 試料サイズ：最大φ8インチ その他：ロードロック式 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟1F |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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