電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
![電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]](data/facility_item/1613546080_18.jpg)
| 装置ID | NF0016 |
|---|---|
| 装置名称 | 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] |
| メーカー名 | 株式会社アールデック |
| 型番 | ADS-E86 |
| 用途 | リフトオフ向け金属薄膜形成 |
| 仕様 | 蒸着方式：電子銃型 ターゲット：Ti, Cr, Au, Al, Ni, Pt, 他 到達真空度：10-5Pa台 TS間距離：500mm 試料サイズ：最大φ8インチ その他：ロードロック式自動蒸着、水冷式資料ステージ |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟1F |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
- 0年0月0日
- 印刷する