顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]
![顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]](data/facility_item/1612224143_18.jpg)
| 装置ID | NF0030 |
|---|---|
| 装置名称 | 顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV] |
| メーカー名 | フィルメトリクス株式会社 |
| 型番 | F54-XY-200-UV |
| 用途 | 反射分光による薄膜評価 |
| 仕様 | 【遠隔利用可】 光源：重水素ハロゲンランプ 波長：190-1100nm 測定膜厚範囲：5nm以下～30um 試料サイズ：最大φ8インチ その他：自動マッピング、顕微式、遠隔利用可能 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟1F |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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