水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
![水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]](data/facility_item/1626735776_16.jpg)
| 装置ID | NF0009 |
|---|---|
| 装置名称 | 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] |
| メーカー名 | サムコ株式会社 |
| 型番 | AQ-500 |
| 用途 | ・金属酸化膜の還元 ・有機汚れの洗浄 ・レジストアッシング ・親水化処理 - Reduction - Surface cleaning - Resist ashing - Hydrophilization |
| 仕様 | ・高周波出力：50-250W ・反応ガス：H2O,O2 ・自動運転プログラム ・試料サイズ：最大φ8インチ ・水蒸気プラズマによる還元、洗浄、樹脂接合、親水化処理が可能 ・酸素ガスを添加することにより、還元雰囲気でのアッシングが可能 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟1F |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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