電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
![電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]](data/facility_item/1653455629_16.jpg)
| 装置ID | NF0125 |
|---|---|
| 装置名称 | 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] |
| メーカー名 | 株式会社 エリオニクス |
| 型番 | ELS-BODEN |
| 用途 | 微細加工（リソグラフィ） |
| 仕様 | 加速電圧：100kV 基板サイズ：最大8インチ フィールドサイズ：1mm ビーム電流：100pA～10nA |
| 利用時間単位 | 時間(1h) |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟 |
| 備考 | 【特徴】ナノスケールから大面積の描画まで対応可能 |
|---|
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