アトムプローブ・透過型電⼦顕微鏡試料作製装置（HeliosG4UX）
| 装置ID | NF0289 |
|---|---|
| 装置名称 | アトムプローブ・透過型電⼦顕微鏡試料作製装置（HeliosG4UX） |
| メーカー名 | 日本エフイーアイ |
| 型番 | HeliosG4UX |
| 用途 | アトムプローブ試料作製、TEM試料作製、SEM観察が可能 |
| 仕様 | 【性能・仕様】 1.Gaイオン源FIB-SEM複合装置 2.FIB: 500 V～30kV 3.リフトアウト機構 4.Ptデポジション 【特徴】 SEM観察をしながら低加速FIB加工が可能 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 利用可能形態 |
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| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | 3次元アトムプローブユニット |
| 設置場所 | 千現地区 標準実験棟537室 |
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