深紫外レーザーアトムプローブ（Invizo6000）
| 装置ID | NF0273 |
|---|---|
| 装置名称 | 深紫外レーザーアトムプローブ（Invizo6000） |
| メーカー名 | アメテック株式会社カメカ事業部 |
| 型番 | Invizo6000 |
| 用途 | 3次元アトムプローブ（APT: atom probe tomography, or 3DAP; three-dimentional atom probe）は、電子顕微鏡では分析困難な軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の3次元解析に威力を発揮します。 |
| 仕様 | 【性能・仕様】 1. 深紫外レーザー (257.5nm)パルス型 2. 静電レンズによる取得領域の広域化 3. 電圧パルス測定可能 4. 最低試料温度25K 5. レーザーモードでのFWHM＞900（Al標準試料@50K） 6. 最大検出効率: ~63% 7. ２方向からのレーザー照射機能 【特徴】 Invizo6000は深紫外域（Deep UV）のレーザーパルスを用いることで定量性やデータ取得成功率の向上に加えて、新設計フライトパスにより従来よりも広領域からの3次元データの取得が可能となっています。 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | 3次元アトムプローブユニット |
| 設置場所 | 千現地区 標準実験棟531室 |
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