レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
![レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]](data/facility_item/1694409221_16.jpg)
| 装置ID | NF0026 |
|---|---|
| 装置名称 | レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] |
| メーカー名 | オリンパス |
| 型番 | LEXT OLS4000 |
| 用途 | ・非接触3次元形状観察、計測 |
| 仕様 | ・光源 405nm半導体レーザー ・分解能 XY：0.12um／Z：0.01um ・繰り返し性 XY：3σ=0.02um,／Z：1σ=0.012um（対物レンズ100倍時） ・観察モード レーザー観察，白色光明視野，微分干渉観察 ・試料サイズ 100mm角以下 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟1F |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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