【NIMS共用設備紹介動画05】微細加工

パターンを形成するためのリソグラフィ装置や、薄膜形成を行う成膜装置、材料を加工するためのエッチング装置、その他熱処理装置や試料観察・プロセス評価装置といった一連の微細加工プロセスが実施可能な装置群を提供しています。

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